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报告主题：原子层沉积异质微纳结构及MEMS气体传感器
报 告 人：卢红亮教授（复旦大学微电子学院）
报告时间：2020年11月25日11:00
参会方式：腾讯会议
会议ID：423 826 507
邀 请 人：徐甲强教授
主办部门：理学院化学系
报告摘要：ALD技术简介，异质纳米结构的构筑及其MEMS气体传感器研究。
欢迎教师、学生参加！
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